在半导体行业，Exyte 以其洁净室和受控环境而闻名。但有时仅仅洁净是不够的。有时，客户需要一个电磁辐射都无法穿透的房间。这就是 Exyte Technology 专家们的工作。他们的创意和努力有助于将半导体的技术节点缩小到 5 纳米以下。这将使电子设备变得更加强大和紧凑。
在斯图加特郊外的 Renningen 镇，生产车间里矗立的白色盒子可能是任何东西。特大号冰箱？空间站的模块？还是一台古老的计算机？不完全是。
有了这个用于扫描电子显微镜应用的 "电磁干扰屏蔽室"（是的，这个名字太长了，以后就叫它屏蔽室吧），Exyte 的客户现在可以生产出更小、更快、更高效的完美半导体。Exyte 与客户共同开发了这种腔室，从设想到完美的解决方案。
半导体是由多层镀膜、曝光和多次蚀刻制造而成的。其基础是硅片：由硅制成的圆形扁平圆盘。由于半导体的灵敏度极高，而且已经小到以纳米为单位（纳米是一毫米的百万分之一，人的头发粗细在 50,000 到 100,000 纳米之间），因此晶片必须完美无瑕。"即使是一粒灰尘也会破坏整个生产流程，"Exyte Technology 的技术产品经理 Fabian Ankele 解释说。
半导体是由多层镀膜、曝光和多次蚀刻制造而成的。其基础是硅片：由硅制成的圆形扁平圆盘。由于半导体的灵敏度极高，而且已经小到以纳米为单位（纳米是一毫米的百万分之一，人的头发粗细在 50,000 到 100,000 纳米之间），因此晶片必须完美无瑕。"即使是一粒灰尘也会破坏整个生产流程，"Exyte Technology 的技术产品经理 Fabian Ankele 解释说。
有了这个用于扫描电子显微镜应用的 "电磁干扰屏蔽室"（是的，这个名字太长了，以后就叫它屏蔽室吧），Exyte 的客户现在可以生产出更小、更快、更高效的完美半导体。Exyte 与客户共同开发了这种腔室，从设想到完美的解决方案。
半导体是由多层镀膜、曝光和多次蚀刻制造而成的。其基础是硅片：由硅制成的圆形扁平圆盘。由于半导体的灵敏度极高，而且已经小到以纳米为单位（纳米是一毫米的百万分之一，人的头发粗细在 50,000 到 100,000 纳米之间），因此晶片必须完美无瑕。"即使是一粒灰尘也会破坏整个生产流程，"Exyte Technology 的技术产品经理 Fabian Ankele 解释说。
半导体是由多层镀膜、曝光和多次蚀刻制造而成的。其基础是硅片：由硅制成的圆形扁平圆盘。由于半导体的灵敏度极高，而且已经小到以纳米为单位（纳米是一毫米的百万分之一，人的头发粗细在 50,000 到 100,000 纳米之间），因此晶片必须完美无瑕。"即使是一粒灰尘也会破坏整个生产流程，"Exyte Technology 的技术产品经理 Fabian Ankele 解释说。
无尘室中的无尘室
那么如何检测这些微小的污染或生产缺陷呢？用显微镜。然而，在纳米范围内，放大镜已不再有用，您需要电子显微镜。电子显微镜使用电子束扫描表面并检测任何不规则之处。但与晶片一样，电子显微镜也非常敏感。它需要一个可控的环境，在这个环境中，电子束不会被任何东西偏转或干扰。而 Exyte 的腔室恰恰提供了这样的环境。没有任何不该进入的东西进入。甚至连声音信号或磁场都不能进入。可以说，试验室是无尘室中的无尘室。再干净不过了。
"到目前为止，它几乎是市场上唯一的同类产品"。
屏蔽室内部还有一个真空室。即使晶圆由机器人插入，真空室也能保持不变。"这也许是最大的挑战。Exyte Technology 公司的机械设计师 Steffen Kühnle 问道："当有东西进入真空室时，我们如何保持真空并防止电磁辐射？为此，伦宁根的工程师们开发出了与腔体相连的特殊接口。"到目前为止，这几乎是市场上唯一的同类产品"。
可批量生产
与其他扫描电子显微镜系统相比，Exyte 电子显微镜室的另一个优势是节省大量空间。"我们的样品室只需要电子显微镜所需的空间。这为客户节省了空间，因此也节省了资金，"Ankele 说。利用这一领先优势，Exyte 开始批量生产扫描室。