Dans l'industrie des semi-conducteurs, Exyte est réputé pour ses salles blanches et ses environnements contrôlés. Mais parfois, la propreté ne suffit pas. Parfois, les clients ont besoin d'une salle qui ne peut même pas être pénétrée par des radiations électromagnétiques. C'est là que les experts d'Exyte Technology se mettent au travail. Le résultat de leur créativité et de leurs efforts permet de réduire les nœuds technologiques des semi-conducteurs à moins de cinq nanomètres. Les appareils électroniques seront ainsi encore plus puissants et plus compacts.

La boîte blanche qui se trouve dans le hall de production de Renningen, une ville située juste à côté de Stuttgart, pourrait être n'importe quoi. Un réfrigérateur surdimensionné ? Le module d'une station spatiale ? Un vieil ordinateur ? Ce n'est pas vraiment le cas.

Grâce à cette "chambre de blindage contre les interférences électromagnétiques" pour les applications de microscopie électronique à balayage (oui, c'est un nom long, appelons-le simplement chambre à partir de maintenant), un client d'Exyte peut maintenant produire des semi-conducteurs parfaits qui sont encore plus petits, plus rapides et plus efficaces. Exyte a développé la chambre en collaboration avec le client, de la vision à la solution parfaite.


Les semi-conducteurs sont fabriqués en plusieurs couches qui sont recouvertes, exposées et gravées plusieurs fois. La base est une plaquette : un disque rond et plat fait de silicium. Comme les semi-conducteurs sont extrêmement sensibles et sont devenus si petits qu'ils sont mesurés en nanomètres (un nanomètre est la millionième partie d'un millimètre, un cheveu humain a une épaisseur comprise entre 50 000 et 100 000 nanomètres), la plaquette doit être impeccable : "Même un grain de poussière peut perturber des processus de production entiers", explique Fabian Ankele, chef de produit technique chez Exyte Technology.
Gloved hand holding a semiconductor wafer, used in microchip and electronic component manufacturing, with precise lines visible on its reflective surface.
Grâce à cette "chambre de blindage contre les interférences électromagnétiques" pour les applications de microscope électronique à balayage (oui, c'est un nom long, appelons-le simplement chambre à partir de maintenant), un client d'Exyte peut maintenant produire des semi-conducteurs parfaits qui sont encore plus petits, plus rapides et plus efficaces. Exyte a développé la chambre en collaboration avec le client, de la vision à la solution parfaite.

Les semi-conducteurs sont fabriqués en plusieurs couches qui sont recouvertes, exposées et gravées plusieurs fois. La base est une plaquette : un disque rond et plat fait de silicium. Comme les semi-conducteurs sont extrêmement sensibles et sont devenus si petits qu'ils sont mesurés en nanomètres (un nanomètre est la millionième partie d'un millimètre, un cheveu humain a une épaisseur comprise entre 50 000 et 100 000 nanomètres), la plaquette doit être impeccable : "Même un grain de poussière peut perturber des processus de production entiers", explique Fabian Ankele, chef de produit technique chez Exyte Technology.
Fabian Ankele smiling in a high-tech industrial setting, wearing glasses, a patterned shirt, and sporting a long red beard, standing between two metal frames.

La salle blanche dans la salle blanche

Et comment détecter de si petites contaminations ou des défauts de production ? Avec un microscope. Toutefois, dans le domaine nanométrique, les loupes ne sont plus d'une grande utilité. Un microscope électronique utilise un faisceau d'électrons pour balayer une surface et détecter d'éventuelles irrégularités. Mais comme pour les plaquettes, un microscope électronique est extrêmement sensible. Il a besoin d'un environnement contrôlé dans lequel ses rayons ne sont pas déviés ou interrompus par quoi que ce soit. C'est exactement ce que permet la chambre d'Exyte. Rien ne pénètre dans la chambre qui ne devrait pas s'y trouver. Pas même des signaux acoustiques ou des champs magnétiques. La chambre est, pour ainsi dire, la salle blanche dans la salle blanche. Elle pourrait difficilement être plus propre.
"C'est plus ou moins la seule chambre de ce type sur le marché jusqu'à présent.

"C'est plus ou moins la seule chambre de ce type sur le marché jusqu'à présent.

Une chambre à vide supplémentaire se trouve à l'intérieur de la chambre de blindage. Celle-ci est maintenue même lorsque les plaquettes sont insérées par des robots. "C'était peut-être le plus grand défi. Comment maintenir le vide et empêcher le rayonnement électromagnétique de pénétrer dans la chambre ?" demande Steffen Kühnle, concepteur mécanique chez Exyte Technology. À cette fin, les ingénieurs de Renningen ont développé des interfaces spéciales qui sont connectées à la chambre. "C'est plus ou moins la seule chambre de ce type sur le marché jusqu'à présent.


A gloved hand cleans a surface under UV light, revealing contamination, a process used to maintain cleanliness in controlled environments such as pharmaceuticals and electronics.

Possibilité de production en série


Un autre avantage de la chambre d'Exyte par rapport aux autres systèmes de microscope électronique à balayage est qu'elle permet d'économiser beaucoup d'espace. "Notre chambre n'a besoin que de l'espace nécessaire au microscope électronique, ce qui permet au client d'économiser de l'espace et donc de l'argent. Cela permet au client d'économiser de l'espace et donc de l'argent", explique M. Ankele. Profitant de cette avance, Exyte a commencé la production en série de la chambre.